XRF分析儀是一種較新型可以對多元素進行快速同時測定的儀器。在X射線激發下，被測元素原子的內層電子發生能級躍遷而發出次級X射線（即X-熒光）。波長和能量是從不同的角度來觀察描述X射線所采用的兩個物理量。
波長色散型X射線熒光光譜儀（WD-XRF），是用晶體分光而后由探測器接收經過衍射的特征X射線信號。如果分光晶體和控測器作同步運動，不斷地改變衍射角，便可獲得樣品內各種元素所產生的特征X射線的波長及各個波長X射線的強度，可以據此進行定性和定量分析。該儀器產生于50年代，由于可以對復雜體系進行多組分同時測定，受到觀注，特別在地質部門，先后配置了這種儀器，分析速度顯著提高，起了重要作用。
隨著科學技術的進步，在60年代初發明了半導體探測器以后，對X-熒光進行能譜分析成了可能。能譜色散型X熒光光譜儀（ED-XRF），用X射線管產生原級X射線照射到樣品上，所產生的特征X射線（熒光）直接進入半導體探測器，便可以據此進行定性分析和定量分析。
由于普通能量色散X熒光采用低功率X射線管，又采用濾光片扣除背景和干擾，其背景偏高，分辨率偏小，使得應用范圍受到限制，特別是在輕元素的分析受到限制。隨之X射線偏振器的誕生，產生了一款新型的能量色散X熒光光譜儀，既偏振式能量色散X熒光光譜儀ED（P）-XRF，再加上SDD探測器的使用，不僅提高了（相對使用正比計數管和Si（PIN）探測器的儀器）的分辨率，免去Si(Li)探測器使用液氮冷卻的繁瑣和危險，*原來普通能量色散X熒光的輕元素檢出限高，分辨率差的缺陷，又使得（相對波長色散X熒光用戶）購買和使用X熒光儀器的成本大大減低，這使得偏振式能量色散X熒光光譜儀ED（P）-XRF在分析領域的迅猛發展，越來越受到廣泛關注。
